U22系列(lie)單級減壓器适(shì)用于高純氣體(ti)、非腐蝕性氣體(tǐ)、腐⛹🏻♀️蝕性✏️氣體和(hé)有毒氣體。膜片(piàn)和閥體的密封(feng)
采用了硬密封(fēng)
的設計,降低洩(xiè)漏率,同時提高(gāo)了安全性和使(shi)用壽命。
結構特(te)點
316L不鏽鋼母體(tǐ)
膜片式硬密封(fēng),洩漏率低
可采(cǎi)用面闆安裝和(he)後座安裝
壓力(li)表标準連接:1/4" FRS(M), 可(kě)選1/4" FRS(F)
内部電解抛(pao)光
高潔淨的組(zu)裝和包裝适用(yong)于高潔淨度的(de)半導體行業
使(shǐ)用壽命長
100%氦氣(qi)測試
材質
母體(tǐ):316L
閥座:PCTFE, Vespel®
膜片:316L
上蓋(gai):316
功能特性
流量(liàng):Cv=1.1
母體洩漏率:2×10
-8 atm cc/sec He
閥(fá)座洩漏率:4×10
-8 atm cc/sec He
設計(ji)驗證壓力:最大(dà)額定壓力的150%
設(shè)計爆破壓力:最(zui)大額定壓力的(de)400%
工作條件
最大(dà)的入口壓力:500 psi (35 bar), 3000 psi (206 bar)
出(chu)口壓力:0~25 psi (1.7 bar),0~50 psi (3bar), 0~100 psi (7 bar),0~250 psi (17 bar)
溫度:-40℃~74℃ (-40°F~165°F)
流(liú)道表面
标準:Ra 20µin
可(ke)選:Ra 10µin
内部容積:22.6cc